[论文]净化厂房的颗粒控制

时间:2016-11-23 17:49:39来源:太平洋仪器设备点击:135

摘自微电子技术
摘要: 要获得10级或1级的净化间,不仅在IC的生产中要注意颗粒控制,而且在净化厂房的建造和设计过程中也要注意颗粒控制。

净化间包含了一个复杂的环境控制系统。因为,它几乎受到任何事情的影响,人们可以通过以下几方面的工作来增强对净化的认识,又如,厂房总体设计及设备平面布置,远程的化学药品分配,厂房动作细则,无纸化记录系统,净化间的监测,附加垫,空气吹淋器和鞋刷的使用,以及清洁规程。
首先,让我们来讨论一下为确保污染的控制而建造一间净化间有关的因素:

一, 厂房建造方案
二, 净化间的设计
三, 设备平面布置
四, 补充空气
五, 远程化学药品分配
六, 厂房管理细则
七, 无纸张化记录
八, 净化间的监控
九, 附加垫
十, 空气吹淋
十一,净化室的清洁

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