摘自微电子技术
摘要： 要获得10级或1级的净化间，不仅在IC的生产中要注意颗粒控制，而且在净化厂房的建造和设计过程中也要注意颗粒控制。
净化间包含了一个复杂的环境控制系统。因为，它几乎受到任何事情的影响，人们可以通过以下几方面的工作来增强对净化的认识，又如，厂房总体设计及设备平面布置，远程的化学药品分配，厂房动作细则，无纸化记录系统，净化间的监测，附加垫，空气吹淋器和鞋刷的使用，以及清洁规程。
首先，让我们来讨论一下为确保污染的控制而建造一间净化间有关的因素：
一， 厂房建造方案
二， 净化间的设计
三， 设备平面布置
四， 补充空气
五， 远程化学药品分配
六， 厂房管理细则
七， 无纸张化记录
八， 净化间的监控
九， 附加垫
十， 空气吹淋
十一，净化室的清洁
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太平洋仪器设备有限公司是一家提供污染分析、环境监控和GMP环境验证方案的专业技术团队，包括实验 室仪器设备、GMP/FDA环境验证仪器的销售和洁净室NEBB标准测试服务，并在上海和深圳设有环境验证仪器 校验中心, 能提供包含气溶胶光度计，尘埃粒子计数器，颗粒计数仪等光学仪器的校验和维修服务。
